Bereits Anfang des Jahrzehnts wollte ASML die Chipfertigung mit der innovativen EUV-Lithografie revolutionieren. Doch brachten zu dieser Zeit die Strahler für extremes UV-Licht noch nicht die gewünschte Leistung. Inzwischen wurden die technischen Hürden beseitigt, und die Laser erreichen einen Wert von 250 Watt. Von Christian IngerlDen vollständigen Artikel lesen ...
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